1. skanujący spektrometr fotoelektronów XPS PHI 5000 VersaProbe ; prod. ULVAC/ Physical Electronics – Japonia/USA wyposażony w:
- monochromatyczne źródło XPS (Al)
- klasyczne działo XPS wyposażone w podwójną anodę Mg/Zr
- spektrometr elektronów Augera (AES)
- mikroskop SEM
- działo C60
2. mikroskop tunelowy AFM/STM prod. RHK, USA.
3. komora preparacyjna wyposażona dodatkowo w:
- układy do nanoszenia cienkich warstw metali lub półprzewodników,
- spektrometr elektronów Augera (AES),
- dyfraktometr niskoenergetycznych elektronów (LEED),
- układ do termoprogramowanej desorpcji (TPD) z kwadrupolowym spektrometrem masowym (QSM),
-źródło plazmy azotowej.
4. reaktor wysokociśnieniowy, 5. komora FTIR |